与上述两种加工工艺相比，从20世纪60年代开始发展起来的超精密加工切削及超精密磨削加工丁艺被称为“确定性”超精密加工技术，加丁精度完全取决于超精密机床的精度该项技术综合利用当代精密机械制造、坐标测量、伺服运动控制、数控、环境控制等一系列确定性超精密加工

工机床的特点是可控制刀具（如金刚石刀具、砂轮等）以极高精度的空间运动轨迹直接加工成形具有光学镜面效果的产品口具有这种性能的机床不仅使加工效率得到了极大的提高，还可实现传统方法难以加工处理的金属、光学晶体等材料，以及非球面、自由曲面等复杂面形的超精密加工。

    超精密加工机床的高确定性取决于对影响精度性能的各环节因数的控制一这些控制品质常常要求达到当代科技的极限：如机床运动部件（导轨、主轴等）极高的运动精度和可控性（如摩擦、阻尼品质）；机床坐标测量系统极高的分辨率、测量精度和稳定性；运动伺服控制系统极高的动、静态加工轨迹跟踪和定位控制精度等＜此外，还要求数控系统具有高性能的多轴实时控制及数据处理能力；机床本体的高刚性、高稳定性和优良的振动阻尼；为了防止环境振动和加丁中机床姿态微小变化的影响，机床还需安装隔振、精密自动水平调整机构等：环境因数对超精密加工影响巨大。特别是大型超精密加工机床环境控制极为严苛：除了控制地基振动，对机床本体液体温度控制，环境空气流场、温度控制，以现有的科技手段，无论要求多高都不为过，甚至声场及任何可能对机床状态产生微小扰动的因数都要进行严格控制（见图1-6（c）和图1-6（d））。

 

    确定性超精密加工技术有如下主要特点：

 

    ①对超精密加工机床精度要求极高，需要严格控制影响精度的各环节因素；

 

    ②主要用于有色金属、红外材料等光学零件的超精密切削.黑色金属及其他硬脆材料的超精密磨削；

 

    ③加工效率高。

 

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