随着1960年代初期航空航天技术的发展，超精密加工技术首先在美国提出，并在政府和军方的财政支持下迅速发展。1970年代，日本还成立了超精密加工技术委员会，并制定了相应的发展计划，以将该技术纳入高科技产业。经过多年的发展，日本在民用光学，电子和信息产品行业中一直处于世界领先地位。

    近年来，美国实施了“微米和纳米级技术”国家关键技术计划，国防部也已实施。成立了专门委员会来协调和协调研究工作。美国目前至少有30多家公司开发和生产各种类型的超精密加工机床。Lawrence-Livermore国家实验室（LLNL），MooreqMoore等在国际超精密加工技术领域早已众所周知。使用这些超精密加T设备对不同形状和类型的零件的陶瓷，硬质合金，玻璃和塑料材料进行超精密加工，用于航空，航天，半导体，能源，医疗设备和其他行业。日本有20多家超精密加工机床开发公司，专注于民用产品所需的超精密加工设备的开发，并大量生产了各种商用超精密加工机床：日本的照相机，电视，复印机，投影仪民用光学行业的飞速发展与其先进的超精密Gadine技术有着直接的关系。自1960年代以来，英国一直在研究超精密加工技术。现在，它已经建立了国家纳米技术战略委员会，并正在执行国家纳米技术研究计划。德国和瑞士也以生产精密加T设备而闻名。1992年后，欧洲实施了一系列联合研发计划。加强和促进精密超精密加工技术的发展